純水即純度高的水,這種水中除了水分子(H2O)外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氟二惡英等有機物。是美國科技界為了研制材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其他適當的精細技術生產出來的水。集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模板的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。
我公司主要采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制配電子工業純水的方式,這是一種制取純水的新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的純水制備工藝,其基本工藝流程為: